鋼瓶裝電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品分別經(jīng)國(guó)內(nèi)知名物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專(zhuān)用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心抽樣檢驗(yàn),純度大於99.999%,總雜質(zhì)含量小於5ppm,符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T24469-2009。
高純度電子級(jí)氯化氫氣體經(jīng)國(guó)內(nèi)外多家半導(dǎo )體材料生產(chǎn)企業(yè)在單晶矽片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用證明,其主要性能技術(shù)指標(biāo)與國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品相當(dāng)。 |