1、 設(shè)備名稱(chēng)與型號(hào)：自動(dòng)溫控加熱板NHP-320
2、 設(shè)備外觀(guān)圖：（見(jiàn)圖）
3、 設(shè)備概要：本設(shè)備可以同時(shí)加熱30片2″wafer，片子通過(guò)PIN升降達(dá)到所有wafer加熱時(shí)間相同，克服因人工夾放wafer造成的工藝不穩(wěn)定問(wèn)題。
4、 設(shè)備規(guī)格：
1) 基板尺寸：2″wafer；
2) Through Put：30片/run；
3) 溫度範圍：20~150℃(Plate表面)；
4) HP材質(zhì)：AL+SALW（陽極處理）+Silastic Heater；
5) 加熱面尺寸：(W×D×H) 510×430×12(mm)；
6) 溫度分布：90℃ ±1℃；120℃±1℃；
7) 溫度Sensor：PT100型熱電偶；
8) 溫度表示：溫度調(diào)整器Digital表示；
9) 控制方式：Digital溫度調(diào)整器+SSR（PID）；
10) 設(shè)備外面尺寸：(W×D×H) 566×486×170(mm)；
11) 設(shè)備淨重：30Kg；
5、 設(shè)備運(yùn)作流程：
（1）.查看設(shè)備外觀(guān)無(wú)運(yùn)輸(shū)破損後，將電源線(xiàn )插入~220V接線(xiàn )板插坐;插上供氣管
（2）.打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，設(shè)備自檢初始化，頂針(PIN)頂起
（3）.設(shè)置加熱溫度；設(shè)置工作時(shí)間
（4）.放上待加熱晶片
（5）.按開(kāi)始鍵，頂針下落，晶片落下，貼緊加熱板，開(kāi)始加熱，時(shí)間繼電器開(kāi)始計(jì)時(shí)
（6）.時(shí)間到，頂針（PIN）同時(shí)頂起晶片，所有晶片同時(shí)離開(kāi)熱板不再加熱，蜂鳴器響起提醒工作人員取下加熱均勻的晶片。
（7）.工作過(guò)程中，遇突發(fā)事件，可按停止按健，頂針立即頂起晶片，停止加熱，時(shí)間繼電器復位，方便隨時(shí)進(jìn)行人工幹預。
6、 廠(chǎng)務(wù)要求：
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項(xiàng)次
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項(xiàng)目
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內(nèi)容
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容量
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備註
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1
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電源
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AC 220V
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15A 50Hz
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2
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CDA
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>6Kg
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穩(wěn)壓1.5Kg
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3
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供氣管
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φ8mm
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3Kg~10Kg
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7、 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
a) 30片/run，產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)；
b) Silastic Heater溫度均勻性更高。 |
產(chǎn)品介紹
