設(shè)備名稱(chēng)：顯影清洗臺(tái)
適用於：2-6寸晶圓清洗
產(chǎn)品規(guī)格
控制模式：半自動(dòng)控制（工件搬運(yùn)為手動(dòng)操作，工藝參數(shù)控制過(guò)程為自動(dòng)）
整機(jī)尺寸：約1400mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H)
操作臺(tái)面高度：850±20mm
工件：2-6英寸晶圓
產(chǎn)能：25片/槽 可按客戶(hù)產(chǎn)能需求設(shè)計(jì)
電源：380V 三相五線(xiàn )制，50HZ,5KW
純水：CL-PVC 進(jìn)口DN25 管徑，0.2～0.3 MPa 壓力，用量MAX:2m³/h
抽風(fēng)口：φ200*1 抽風(fēng)量MAX: 900m³/h ,風(fēng)量口裝有蝶閥，可手動(dòng)調(diào)節(jié)
CDA: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:0.5m³/h
N2: 0.4～0.6 MPa 壓力，接管口徑 ∮8mm,用量MAX:2m³/h
設(shè)備特點(diǎn)：
1.骨架：國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)SUS304 骨架外包；
2. 外殼：2mm 厚SUS304 鏡面板折彎焊接而成；
3. 臺(tái)面：2mm 厚SUS304 鏡面板
4. 採用10.4英寸“PROFACE”觸控螢幕人機(jī)界面操作和“三菱”PLC控制；
5. 槽體設(shè)置溫度、液位監(jiān)控裝置；
6. 藥液槽配透明槽蓋，有效防止藥液揮發(fā)，汙染；
7.清洗區(qū)域配有高效過(guò)濾器，無(wú)二次汙染機(jī)會(huì)；
8. 用戶(hù)操作人員上料後，全過(guò)程自動(dòng)化控制，減少人工幹預。設(shè)備具有自動(dòng)化程度高、運(yùn)行成本低、生產(chǎn)效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點(diǎn)；
9.設(shè)備安全性能高，設(shè)備在防漏液、加熱、漏電等方面都做了嚴(yán)格的設(shè)計(jì)，確保人身和廠(chǎng)務(wù)安全； |
產(chǎn)品介紹
