儀器簡(jiǎn)介：
真空腔體探針臺(tái)通過(guò)改變溫度，光纖，氣體，彎曲樣品臺(tái)....等條件在位進(jìn)行控制和測(cè)試多種參數(shù)(IV,CV,RF,Impedance)
-液氮(-190度~80K)
-氦(-262度~10K)
-氣體:N2,Ar,NH3,O2,H2。。。(MFC 10通道 或更多）
-光纖（250~1200nm波長(zhǎng)）
-高溫(~1000度）
-彎曲樣品臺(tái)：彎曲半徑：~80度
-RF:~67GHz
主要應(yīng)用：廣(guǎng)泛用於半導(dǎo )體、微電子,OLED....的科研和開(kāi)發(fā)。
提供探針臺(tái)部件，包括：長(zhǎng)工作距離顯微鏡、防震桌、屏蔽箱、探針座及各種探針、高溫卡盤(pán)、探針卡、RF探頭、適配器、線(xiàn )纜；
主要參數(shù)：
-主腔室：270dia
-卡盤(pán)（chuck) : 70mm 鍍金或陶瓷材料，
-低漏電流：<1fA
-真空：1*10-3Torr(可升級(jí)到-6torr)
-可視窗口:100mm石英（帶有暗蓋）
-溫度範圍可選：液氮，氦.....
-X/Y樣品臺(tái)：解析度1um
-顯微鏡&CCD Camera:ＣＣＤ聚焦：400x~1000x(單個(gè)物鏡）
-防震桌 |
產(chǎn)品介紹
