儀器簡(jiǎn)介:
手動(dòng)探針臺(tái)針對(duì)不同應(yīng)用,推出:晶圓探針臺(tái)、射頻探針臺(tái)(RF Probe Station)、大尺寸平板探針臺(tái)(LCD/OLED Probe Station)、雷射二極體/光電二極體探針臺(tái)(LD/PD Probe Station)、表面電阻探針臺(tái)(四探針臺(tái))、霍爾效應(yīng)探針臺(tái)、PCB檢測(cè)臺(tái)、Mask檢測(cè)臺(tái)、高溫/低探針臺(tái)、客戶(hù)訂製探針臺(tái)等。
主要應(yīng)用:手動(dòng)探針臺(tái)廣(guǎng)泛用於半導(dǎo )體、微電子的科研和開(kāi)發(fā)。
提供探針臺(tái)部件,包括:長(zhǎng)工作距離顯微鏡、防震桌、屏蔽箱、探針座及各種探針、高溫卡盤(pán)、探針卡、RF探頭、適配器、線(xiàn )纜;
主要參數(shù):
-卡盤(pán)(chuck) :4" (6",8",12",200*200mm,370*470mm.....可選)
低噪音,陶瓷pad,真空吸附樣品
-X/Y樣品臺(tái):解析度5um (更高精度可選)
-顯微鏡&CCD Camera:
-針座:磁性基座
-針尖:0.5*30mm(更高可選) |